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渦輪分子泵系統操作注意事項及常見(jiàn)故障排除 

檢碩科學(xué)器材（上海）有限公司

渦輪分子泵系統的操作注意事項

（1） 不能在前級泵工作時(shí)（前級管道接通） 和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉，否則將會(huì )使油蒸汽迅速從前級管路返流到泵的清潔端。

（2） 分子泵系統在停機充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進(jìn)行充氣。

（3）選擇抽氣系統前級泵的大小時(shí)，應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。

（4）不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運轉。

（5）分子泵入口應裝設防護網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內損壞泵轉子和定子葉片。

渦輪分子泵系統常見(jiàn)故障及排除

渦輪分子泵抽氣系統的常見(jiàn)故障及排除方法

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